芯片故障分析

一、 服务内容

芯片故障分析(也称失效分析,Failure Analysis, FA)是一项综合性的技术服务,旨在通过一系列系统化的检测、分析手段,找出导致集成电路(IC)或电子元器件失效(功能不正常、性能不达标或完全损坏)的根本原因(Root Cause)。本服务运用电学测试、无损检测(如X射线、超声波扫描)、封装级分析(开封、剖面)、芯片级物理和化学分析(如电镜扫描、聚焦离子束、微光显微镜、材料成分分析等)多种技术,定位失效的具体位置、描述失效的现象和模式,并最终推断出导致失效的物理机制或原因。

二、 服务范围

本服务面向所有在芯片研发、生产、应用过程中遇到失效问题的客户,包括 Fabless 设计公司、IDM、晶圆代工厂、封装测试厂以及电子产品制造商等。适用于以下场景:

  • 研发阶段: 设计验证失败、早期样品失效分析。
  • 生产阶段: 低良率问题分析(CP/FT 失效)、工艺异常监控。
  • 可靠性测试阶段: 老化、环境应力测试后失效样品的分析。
  • 客户端(Field Return): 终端产品中失效芯片的原因调查。
  • 竞争对手分析(如需)。

三、 参照标准

芯片故障分析过程虽然很大程度上依赖于具体案例和工程师的经验,但其中使用的许多分析技术和方法会参照行业标准和最佳实践,例如:

  • JEDEC 相关标准: 如 JEP143(FA 流程指南)、特定的无损/破坏性分析方法标准。
  • MIL-STD-883/750: 包含了部分可用于失效分析的物理分析方法。
  • 具体的测试方法标准: 如 SEM, EDX, FIB 等设备的操作和分析规范。
  • 分析流程和报告格式通常遵循科学、严谨的逻辑推理和证据链原则。

四、 分析周期

芯片故障分析的周期高度依赖于失效模式的复杂性、信息的完整性以及所需分析技术的深度。简单的失效可能 数个工作日 即可定位,而对于疑难的、间歇性的或需要多轮深度物理分析的案例,则可能需要 数周甚至更长时间。

五、 分析流程

典型的芯片故障分析流程包括:

  1. 失效信息收集: 详细了解失效背景、发生条件、失效现象描述、相关测试数据等。
  2. 无损分析:
    • 外观检查(Optical Inspection)
    • X射线检查(X-Ray): 检查内部结构、键合线、裂纹等。
    • 超声波扫描(C-SAM): 检测分层、空洞等封装缺陷。
    • 电学特性测试(Curve Trace, ATE验证): 确认失效模式,进行失效定位初步判断。
  3. 封装级分析:
    • 开封(Decapsulation): 去除封装材料,暴露芯片表面。
    • 剖面分析(Cross-section): 观察内部结构和特定层面的情况。
  4. 芯片级定位与分析:
    • 显微观察(Microscopy): 光学或扫描电镜(SEM)观察芯片表面形貌。
    • 微光显微镜(EMMI/OBIRCH/Thermal): 定位漏电、热点、光发射点等缺陷位置。
    • 聚焦离子束(FIB): 进行微区剖面、线路修改、取样等。
    • 透射电镜(TEM): 更高分辨率的微观结构分析(如需)。
    • 材料成分分析(EDX/AES/SIMS): 分析特定区域的元素组成或掺杂分布。
  5. 根本原因判定: 综合所有分析结果,逻辑推理,确定最可能的失效根本原因。
  6. 报告撰写: 详细记录分析过程、结果、图片、数据,明确给出结论和改进建议。

六、 服务背景与价值

芯片从设计到最终应用,任何环节的疏漏都可能导致其失效,造成巨大的经济损失和质量风险。无论是工艺缺陷、设计裕量不足、封装问题、静电损伤(ESD)、还是应用环境应力超出承受范围,找到失效的真正“元凶”是解决问题、避免重蹈覆辙的前提。因此,芯片故障分析的核心价值在于:为良率提升提供明确的改进方向;为设计优化和工艺调整提供依据;验证可靠性测试结果的有效性;解决客户投诉和质量纠纷;积累经验教训,提升整体产品质量和可靠性,是半导体产业链中不可或缺的技术支撑环节。

七、 德垲优势

上海德垲在此领域具备显著优势。我们拥有一支经验丰富、知识全面的专业失效分析工程师团队,熟悉各类芯片的结构、工艺和常见的失效模式。我们配备了业界先进、完善的失效分析实验室,涵盖从无损检测(X-Ray, C-SAM)、电学分析(ATE, Curve Tracer)、封装级处理到芯片级定位(EMMI, OBIRCH, SEM, FIB)和成分分析(EDX)等全套主流设备。更重要的是,我们的失效分析服务与可靠性测试、ATE测试开发/运营紧密结合,能够获取更全面的失效背景信息和电学特征数据,形成强大的综合分析能力。我们致力于提供逻辑严谨、证据充分、结论清晰的失效分析报告,并给出切实可行的改进建议,帮助客户从根本上解决问题。


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