案例研究:德垲如何通过失效分析助某客户提升芯片良率?

背景:

客户是一家专注于高性能模拟与混合信号领域的芯片设计公司,其最新研发的一款支持最新快充协议的PMIC芯片承载着重要的市场期望。然而,在芯片进入量产爬坡阶段,客户发现在最终测试(Final Test, FT)环节出现了意料之外的低良率问题,主要表现为部分芯片的特定稳压输出(例如VOUT3)电压偏低且静态功耗(IDDQ)超标,严重影响了生产计划和成本控制。初步的内部排查未能明确锁定问题的根本原因,面对紧迫的上市时间和潜在的巨大损失,客户寻求专业的第三方测试服务机构协助。

面临的挑战:

  1. 良率瓶颈: 量产初期,该PMIC芯片的综合良率仅维持在约75%,远低于预期的95%以上目标。
  2. 原因不明: 失效表现集中在VOUT3电压偏低及IDDQ漏电流增大,初步电性测试指向负责VOUT3输出的DC-DC转换器模块异常,但无法确定是设计裕量不足、制造工艺波动还是封装引入的问题。
  3. 时间紧迫: 智能手机市场更新迭代快,产品上市窗口期有限,急需快速、准确地定位问题根源,以便及时采取纠正措施。
  4. 分析难度: 该芯片采用了55nm BCD (Bipolar-CMOS-DMOS) 工艺,集成了高压功率器件和精密模拟电路,结构复杂,对失效分析的技术和设备要求极高。

德垲检测的解决方案:失效分析(FA)服务

接到客户的委托后,德垲检测迅速组建了由资深失效分析工程师组成的项目团队,并制定了周密的分析计划:

  1. 样品收集与信息确认: 收集了足够数量的失效样品(Failed Units)和参照良品(Good Units),并与客户详细沟通了芯片设计信息、55nm BCD工艺流程、ATE测试数据和失效现象(VOUT3偏低,IDDQ超标)。
  2. 无损检测先行: 首先采用X-Ray检查、声学扫描(SAT/C-SAM)等无损检测手段,排查封装层面可能存在的明显缺陷,如裂纹、分层、键合线问题等。(此步骤结果为“未见明显封装异常”,引导至下一步)
  3. 精细电性测试与故障定位: 利用曲线追踪仪(Curve Tracer)、参数分析仪以及ATE测试数据,对失效芯片进行更精细的电性特征分析,确认失效模式主要表现为VOUT3输出管脚对地存在异常漏电流。随后,应用先进的故障定位技术,如热点探测(Thermal Emission/Infrascan)和激光诱导电阻变化成像(OBIRCH),成功将异常发热点/漏电路径精确定位到芯片内部DC-DC转换器模块的功率MOS管栅极附近。
  4. 物理分析与微观探查: 针对定位到的可疑区域,进行精确的开封(Decapsulation)、逐层剥离(Delayering)。利用扫描电子显微镜(SEM)进行高倍率形貌观察,并结合能量色散X射线光谱(EDX)进行元素分析。
  5. 根本原因分析与报告: 综合所有测试和分析结果,进行逻辑推理和技术研判。

分析发现:定位根本原因

通过上述系统化的分析流程,德垲检测团队最终发现:

  • SEM观察结果: 在定位到的功率MOS管栅极附近的多晶硅(Poly-Si)层上,发现了微小的、非设计预期的导电颗粒污染物。
  • EDX成分分析: 对该异常颗粒进行元素分析,证实其主要成分为钨(W),这通常来源于金属化制程(如钨塞填充)。
  • 结论: 该异常由制造过程中的钨塞CMP(化学机械抛光)或后续清洗环节引入的微小钨颗粒残留导致。这些导电颗粒随机散落在关键的栅极区域,造成了栅极与源/漏极之间的微弱漏电通道,引发了IDDQ超标和输出电压异常,最终导致芯片功能失效和良率下降。

成果与价值:

  1. 精准定位: 德垲检测通过专业的失效分析服务,在短时间内准确锁定了导致该PMIC芯片良率低下的根本原因——特定制造环节引入的钨颗粒污染。
  2. 良率提升: 基于德垲检测提供的详实分析报告和改进建议(指出污染源头可能在钨塞CMP后的清洗步骤),客户迅速与其晶圆代工厂沟通,并加强了相关工序的清洗流程和过程颗粒监控。经过调整后的批次,该PMIC芯片的最终测试良率从75%稳定提升至96%以上,达到了量产目标。
  3. 加速上市: 良率问题的快速解决,为客户节约了宝贵的调试时间和生产成本,有力保障了该款快充PMIC的按时交付和市场推广。
  4. 风险规避: 明确了问题根源是工艺问题而非设计问题,避免了在错误方向(如重新流片修改设计)上投入更多资源,降低了项目风险。

客户反馈:

客户对德垲检测的专业能力、响应速度和分析深度表示高度认可。“德垲检测的失效分析服务非常关键,”客户的运营副总裁表示,“他们的专业报告不仅帮我们找到了问题的症结,还提供了指向性明确的改进方向,使得我们能够迅速与代工厂一起解决这个棘手的工艺问题,确保了我们核心产品的成功量产。”

总结:

芯片失效分析是保障半导体产品质量、提升良率、优化设计与工艺的关键环节。上海德垲检测技术有限公司凭借其在芯片测试领域的深厚积累、先进的分析设备和经验丰富的专家团队,能够为半导体企业提供高效、精准的失效分析服务,帮助客户快速应对各种复杂的良率和可靠性挑战,是值得信赖的全流程芯片测试解决方案提供商,致力于为中国集成电路产业的高质量发展贡献力量。

如果您也面临芯片良率、可靠性或失效方面的问题,欢迎联系德垲检测,我们的专家团队将为您提供专业的咨询与服务。

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